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太阳能板厂家-源扩散制结制作工艺

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太阳能板厂家-源扩散制结制作工艺

发布日期:2018-06-25 00:00 来源:正规买球app排行 点击:

    太阳能板厂家-足球竞猜网,关于源扩散制作工业生产过程如下:

  ①将扩散炉预先升温至扩散温度(800~950℃),通入大流量的氮气(500~30000m/min),驱除管道内的气体。如果是新处理的石英管,还要接着通含有POCI,的氮气(500 ~5000mL min)和氧气(500 ~5000mL/min),使石英管壁吸收至饱和状态。

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  ②取出经过表面准备的硅片,装入石英舟,推入恒温区,在大流量的氮气(500~5000mL/min)保护下预热若干分钟。

  ③通入含有POCI3,的氮气,氮气流量为500~3000ml/ min,氧气流量为 500 ~300ml/ min,通源时间为15 ~60min。

  ④失源(即停止通含有POCl3,的氮气和氧气),然后通大流量氮气若干分钟,以驱走残存在管道内的源蒸气。

  ⑤把石英舟拉至扩散炉口.降温若干分钟后,即可取出扩散好的硅片

  (3)固态氮化硼源扩散

  固态氮化硼源扩散通常采用片状氮化硼作源,在氮气保护下进行扩散。片状氮化硼的制作方法有两种:可用高纯氮化硼棒切割成和硅片一样大小的薄片,也可用粉状氨化硼冲压成片。扩散前,氮化硼片预先在扩散温度下通氧气30min,使氮化硼表面的三氧化二硼与硅发生反应,形成硼硅玻璃沉积在硅表面,硼向硅内部扩散。扩散炉内的氮气流量较低时,可使扩散更为均匀

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